Semiconductor Series
半导体系列
Process Tube、Boat、Ring、Window、Liner、Nozzle、Dome、Bell Jar等等。用于半导体氧化、扩散、外延、刻蚀、清洗等工序
Optical Series
光学系列
干涉仪主镜、镀膜环、抛光片、视窗、镀金片、激光玻璃等等。产品广泛应用于光学、真空设备、镀膜、激光、LED等领域。
Optical Communication Series
光通信系列
光纤预制棒尾柄、炉芯管、喷灯等。用于光纤生产工艺。
Photovoltaic Series
光伏系列
石英炉管、石英舟、石英炉门、源瓶、热偶管等等。用于太阳能TOPCon扩散工艺。
Photomask Substrate Series
光掩膜基板系列
合肥光微致力于TFT-LCD及IC用光掩膜基板精加工业务
Product Series
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产品类型
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特点
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石英炉管
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使用优质材料，耐温性能优。最大尺寸Φ670×6000mm
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石英舟
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精密加工。石英舟最长2500mm，舟托最长3000mm
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